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シーケンシャルモードで任意の範囲内に到達する光量を解析するにはどうすれば良いでしょうか?

円形アパチャーを設定し、幾何光学的像解析を使用して解析することができます。例えば以下のモデルで、像面においてφ1mmの領域内の光量を解析します。

 

面4(像面)プロパティのアパチャーで「アパチャータイプ」を「円形アパチャー」とし、「最大半径」を0.5とします。

 

解析タブの拡張光源解析内にある幾何光学的像解析を選択します。

 

例えば以下のように設定して、像面のφ1mm内に到達した光量を確認することができます。

 

参考までに、以下は面4に円形アパチャーを設定しない場合の結果です。

 

またエンサークルドエネルギーを使用して、半径rの中に含まれるエネルギー比率を確認することもできます。面4の「アパチャータイプ」を「なし」に設定し、エンサークルドエネルギーの幾何光学を選択します。

 

以下のような結果が得られ、像面のクリア半径約1.02mmが小さくなっていた時にエネルギーの割合を確認することができ、半径0.5mm(500μm)で先程の幾何光学的像解析の結果と同等の値になっていることが分かります。

 


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