Solved

UDA for cut area

  • 12 May 2022
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請問要如何設定以下尺寸的Aperture

在UDA的format下,謝謝。

image.png

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Best answer by Sean.Lin 12 May 2022, 08:10

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可以直接參照UDA file的格式來建立這個Aperture,要建立有圓跟方型的Aperture,請同時使用ARC和LIN指令,LIN就是一個線段,ARC就是一個弧線,相關的操作定義請參考help file。The Setup Tab > Editors Group (Setup Tab) > Lens Data Editor > Surface Properties > Aperture (surface properties) > User Defined Apertures and Obscurations
 

 

help file裡面有一個形狀就有點類似您的需求,稍加改變就可以了。
?name=image.png

Best Regrads
Sean

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