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我想查看加工后的表面面型对于系统光学性能的影响,使用UA3P 对表面进行了测试,测试数据可以导入模拟中吗? 

OpticStudio中支持对于网格矢高(矢高点云)的导入,但对于数据类型有要求,采样点必须是在均匀网格内进行,数据文件格式如下图所示,dat文件中的第一行代表左上角X ,Y位置的矢高,然后从左往右遍历,直到下图第一行结束。。。 

UA3P的数据采样顺序与上图不同。这是测量数据不能使用Grid Sag表面直接导入的原因之一。

其二是由于Grid sag 的拟合方法的限制,采样边缘处的拟合会导致其结果并不准确(上图左下角来空白区域没有数据在拟合时以失高为0进行处理),上图每一个格点处的矢高值会影响其周围5X5格点区域失高的拟合,反之该点处的拟合同样受周围区域数据的影响。

 

OpticStudio在21.2以上版本中推出新的STAR module, 利用该功能可实现UA3P测试数据的导入。

其数据格式非常简单,对UA3P输出的数据简单整理即可导入。

见下图:

 


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