ノンシーケンシャルモードで回折効率を考慮した回折グレーティングを設定する方法はいくつかあります。中には、OpticStudio内部でRCWA計算をしたり、Ansys Lumericalとダイナミックに連携することで取得した回折効率に基づいて、回折光線の正確なエネルギーを決定することもできます。
しかし、高度な計算や連携がまだ必要でない場合もあります。ここでは、そこまで厳密なシミュレーションではなく、各次数の回折光線エネルギーを、パラメータに入力した回折効率で決定する簡易版の1次元 / 2次元の回折グレーティングの設定方法を紹介します。
Best answer by Takashi Ishikawa
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